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1、基础地面处理：确保基础地面平整、干燥、无油污，并进行打磨清洁，如有裂缝或凹凸不平的地方，需用修补剂进行修补，确保地面平整。
2、安装导电铜带：根据地面面积和设计要求，沿房间四周铺设导电铜带，并焊接牢固。
3、铺设防静电地板垫：将防静电地板垫按照顺序紧密铺设在基础地面上，确保每块地板之间的接缝处对齐。
4、安装横梁：根据地板铺设的方向，在地面上安装横梁，横梁间距不宜过大，以保证地板的支撑力。
5、安装防静电地板：将防静电地板安装在横梁上，并用螺丝或焊接方式固定，确保每块地板安装牢固，无晃动现象。
6、接缝处理：地板铺设完成后，对接缝进行密封处理，以防水分、灰尘等进入地板下。
7、验收与检测：对铺设完成的防静电地板垫和防静电地板进行验收和检测，确保导电性能良好，表面平整无损坏。
具体的施工工艺可能因场地条件、设计要求等因素有所不同，建议在实际操作前咨询专业人员，获取准确的施工方法和注意事项，施工过程中应注意安全，确保施工质量符合要求。